联系人：白荣
电话/Phone：+86 18150087953
18005022138
邮箱/Email：Description
Brooks Automation 001-4130-03
Brooks Automation 001-4130-03是一款专为半导体制造设计的晶圆对准控制器，用于实现高精度的晶圆对准操作。它能够快速、准确地对准晶圆，以提高生产效率和产品质量。
Brooks Automation 001-4130-03
产品参数：
对准精度：±0.1微米。
对准速度：最高可达1米/秒。
晶圆尺寸：支持12英寸晶圆。
工作温度范围：0°C至50°C。
尺寸：600 mm x 400 mm x 200 mm。
重量：50 kg。
产品规格：
该控制器具有多种功能，包括多种对准模式、实时监控和诊断、数据记录和分析等。此外，它还支持RS-232和RS-485通信接口，以便与其他设备进行数据交换。
系列：
Brooks Automation 001-4130-03属于该公司生产的晶圆对准控制器系列，适用于半导体制造中的光刻、刻蚀、沉积等前道工艺。
特征：
高精度：提供亚微米级别的对准精度，确保生产过程中的极高精度和一致性。
稳定性：设计坚固耐用，能在恶劣生产环境中长期稳定运行。
易用性：配备直观的用户界面和友好的操作软件，便于设置、监控和维护。
可扩展性：随着半导体制造技术的发展，该控制器具备一定的可扩展性，以适应新的技术要求和工艺变化。
作用与用途：
Brooks Automation 001-4130-03主要用于半导体制造过程中的晶圆对准操作，通过精确对准晶圆来提高生产效率和产品质量。
应用领域：
该控制器广泛应用于半导体制造、光刻、刻蚀、沉积、扩散、离子注入等前道工艺中。此外，它还可以用于其他需要精密运动控制的半导体制造设备中
Brooks Automation 001-4130-03
