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AMAT 0090-07135
AMAT 0090-07135是一款用于半导体制造过程中的控制组件，主要用于控制特定工艺步骤，如薄膜沉积、等离子体刻蚀、化学机械抛光、晶片清洗和检测等。此外，它也可能涉及用于蚀刻腔组件，适用于多种材料的蚀刻，包括硅、氮化镓和砷化镓。
0090-07135
产品参数：
蚀刻速率：可调
腔体尺寸：6英寸
工作温度：20°C至120°C。
产品规格：
抽速率：1200 CFM
极限真空度：10^{-9}Torr
噪音：<65 dB(A)
振动：<0.1 g
寿命：>40000小时。
AMAT 0090-07135属于AMAT公司的半导体设备控制组件系列，该系列通常采用模块化设计，便于维护和升级。
特征：
高精度控制能力：以满足半导体制造对工艺参数的严苛要求。
高可靠性：设计和制造经过严格的质量控制，确保长期稳定运行。
模块化设计：方便维护和升级。
可编程性：支持多种编程语言，方便用户进行定制化开发。
AMAT 0090-07135主要用于控制半导体制造过程中的关键工艺步骤，如薄膜沉积、等离子体刻蚀、化学机械抛光、晶片清洗和检测等，以实现精确、高效的工艺控制
AMAT 0090-07135
