Brooks Automation 001-4130-03

Brooks Automation 001-4130-03是一款真空晶圆对准控制器，属于Brooks Automation VCE系列。它主要用于半导体制造过程中，通过先进的定位算法和伺服驱动器实现高精度的晶圆位置和角度控制。

产品参数：

对准精度：X/Y方向±2μm，θ方向±0.1mrad。

扫描范围：X/Y方向±20mm，θ方向±5°。

控制速度：X/Y方向100mm/s，θ方向10°/s。

产品规格：

Brooks Automation 001-4130-03模块具有高集成度设计，支持多种输入/输出接口，能够实时处理数据，并提供用户友好的界面。此外，该模块采用模块化设计，便于安装、维护和升级。

系列：

该产品属于Brooks Automation VCE系列的晶圆对准控制器产品线。

特征：

高精度定位：采用先进的定位算法和伺服驱动器，实现亚微米级别的高精度对准。

高可靠性：采用冗余设计和故障自诊断功能，确保即使在单个组件发生故障的情况下也能正常工作。

安全性：设计有安全机制，防止意外移动或操作错误导致的设备损坏。

作用与用途：

Brooks Automation 001-4130-03主要用于半导体制造的各个环节，包括晶圆清洗、光刻、刻蚀、沉积、CMP（化学机械抛光）、测试和封装等。它在光刻过程中尤其关键，确保电路图案准确放置于硅片上。

应用领域：

该产品广泛应用于半导体制造行业，特别是在需要高精度和高可靠性的晶圆对准操作中。此外，它也适用于生命科学和其他高科技行业