ZYGO ZMI-4104

ZYGO ZMI-4104是一款高精度的位移测量板卡，用于各种精密测量应用。它能够提供亚纳米级的分辨率，适用于最具挑战性的位置计量应用。这款板卡可以模块化地添加到VME机箱中，支持扩展到多达64个测量轴。

产品参数

型号：ZMI-4104

轴/板数量：4个测量轴

板卡类型：6U VME64x

最小光功率：0.07µW

位置分辨率：0.15 nm

最大速度：±2.55 m/s

最大速度下的精度（σ）：0.2 nm

循环误差补偿：是

兼容的激光器：7702、7714和7724

产品规格

板卡尺寸：根据VME标准设计，便于安装和集成到现有的系统中。

工作温度范围：通常为0°C至40°C，但具体范围需参考产品手册。

电源要求：通常为±15 V电源，具体要求需参考产品手册。

系列

ZMI-4104属于ZYGO的ZMI™系列位移测量板卡，该系列包括多种型号，适用于不同的测量需求和应用场景。

特征

高精度测量：提供亚纳米级分辨率，满足精密工程、纳米技术和科学研究中的高精度测量需求。

高速度测量：能够支持高速测量应用，如动态测试和实时监控。

循环误差补偿：专利技术，自动、无缝地消除DMI系统中常见的固有非线性误差。

模块化设计：支持扩展到多达64个测量轴，提供灵活的系统配置。

作用

ZMI-4104主要作用是提供高精度的位移测量，适用于各种精密测量应用，包括但不限于半导体制造、精密工程、纳米技术和科学研究。

用途

该位移测量板广泛应用于精密测量领域，如：

半导体制造：用于监控和测量半导体设备中的微小位移。

精密工程：用于精密机械和仪器的校准和测试。

纳米技术：在纳米尺度上进行测量和分析。

科学研究：在物理、化学和生物科学等领域进行高精度实验。

应用领域

ZMI-4104位移测量板卡在以下领域有广泛应用：

自动化控制：用于精密运动控制和机器人技术。

精密加工：用于高精度加工设备的测量和反馈。

质量检测：用于产品质量检测和过程控制。

航空航天：用于航空航天器的精密装配和测试。

生物医学工程：用于生物医学设备的精密测量和分析。